與硅片所接觸的材料，設(shè)備，人員等外界環(huán)境都包含有機化合物。在該實例中，一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體可以通過一臺GC-MS進行收集和分析。
通常，塑料材質(zhì)的零配件會檢測出包含C12（1-十二碳烯）、環(huán)甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯組分。
氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀
通過加熱晶圓片，分析有機物揮發(fā)出的氣體組分所對應(yīng)的色譜圖，進而對附著于晶片的有機物進行定性分析。樣品可以通過一個氣體收集器進行采集。此檢測系統(tǒng)可以實現(xiàn)ng級樣品濃度的定量分析。
