與單晶硅圓片接觸的空氣中含有從周邊材料，器械以及人身上散發(fā)出來的有機物。本例中，我們把一個8英寸的單晶硅圓片緊貼在晶圓加熱板上，然后收集單晶硅圓片表面散發(fā)出來的揮發(fā)性氣體，用氣相色譜質譜聯用儀(GC-MS)進行分析。
塑料部件上產生了C12 (1-Dodecene), cyclic dimethylsiloxane (n=6), 和dicarboxylic acid ester。
氣相色譜質譜聯用儀
加熱單晶硅圓片時，通過測定外圍氣體中的有機物譜圖，可以鑒定圓片上附著的有機物質。取樣是通過一個外部氣體收集器完成的。本系統(tǒng)可做到ng級的定量。
