工業(yè)制造行業(yè)解決方案(15)
作者:admin 內(nèi)容來源:本站原創(chuàng) 發(fā)布時(shí)間:2016年04月27日 瀏覽量:
工業(yè)制造行業(yè)全面解決方案
集成電路芯片上的異物可通過紅外顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。紅外顯微鏡對(duì)分析來自大氣灰塵中或制作過程中使用的原材料的有機(jī)異物非常有效。
圖中的異物呈現(xiàn)出特征的酰胺化合物譜峰,表明這個(gè)異物是源于生物的,例如皮膚碎片。
紅外光譜儀-顯微鏡系統(tǒng)
紅外光譜可根據(jù)分子振動(dòng)的特征模式,來提供樣品分子結(jié)構(gòu)的信息。與紅外顯微鏡配合使用可對(duì)小至10um的微觀異物進(jìn)行分析。